高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究

HFCAS OpenIR

	高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究
其他题名	Study on energy control algorithm for high-repetition-rate ArF excimer lasers
	王效顺 1; 梁勖1 ; 游利兵1 ; 赵家敏 1; 方晓东1
	2012
发表期刊	激光技术
ISSN	1001-3806
摘要	为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定，从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理，使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型，提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法，并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明，建立的脉冲能量模型是合理的，且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。
其他摘要	In order to achieve the pulse energy stability of high-repetition-rate ArF excimer lasers, the technology of pulse energy control was studied from the perspective of power supply adjustment. The closed-loop control principle for pulse energy stability of high-repetition-rate ArF excimer lasers was introduced. The function mode/between the output energy of excimer laser and the discharge voltage was established with approximation method, and the proportion-integration（PI） algorithm for real-time adjustment of discharge voltage based on the real-time detection of pulse energy was proposed. Combined with the function model and the control algorithm, simulation was carried out with MATLAB software. The simulation results indicate that the pulse energy model is reasonable and the PI algorithm is feasible for improving the laser pulse energy stability.
关键词	激光器能量稳定比例积分算法高重复频率 ArF准分子激光器
收录类别	CSCD
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:4666844
引用统计	被引频次：4[CSCD] [CSCD记录]
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/100780
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 5.中国科学院安徽光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王效顺,梁勖,游利兵,等. 高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究[J]. 激光技术,2012,036.
APA	王效顺,梁勖,游利兵,赵家敏,&方晓东.(2012).高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究.激光技术,036.
MLA	王效顺,et al."高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究".激光技术 036(2012).