Knowledge Management System of Hefei Institute of Physical Science，CAS
| 纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展 | |
| 其他题名 | Nano-structured thin film gas sensors |
戴正飞1 ; 李越1; 蔡伟平1
| |
| 2014 | |
| 发表期刊 | 物理
 |
| ISSN | 0379-4148 |
| 摘要 | 薄膜型气敏器件对气体具有探测灵敏度高、响应时间快、制备成本较低、易于小型化等特点,并且适于制备微型传感器,因此成为近年来传感器研究的重点。将纳米结构材料制作成薄膜型气敏传感器,具有常规传感器不可替代的优点:纳米结构构成的固体材料具有庞大的界面,提供了大量气体通道,从而大幅度提高了灵敏度和降低了工作温度,并可缩小传感器的尺寸。文章主要介绍了当前国内外纳米结构薄膜型气敏传感器的研究现状,概述了几种常见的纳米结构单元薄膜的气敏特性,扼要地分析了今后纳米薄膜型传感器的研究趋势。 |
| 关键词 | 薄膜 气敏传感器 纳米结构 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:5161394 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/101230 |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院合肥物质科学研究院 2.中国科学院合肥物质科学研究院 3.中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 第一作者单位 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 戴正飞,李越,蔡伟平. 纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展[J]. 物理,2014,43. |
| APA | 戴正飞,李越,&蔡伟平.(2014).纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展.物理,43. |
| MLA | 戴正飞,et al."纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展".物理 43(2014). |
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