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| 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析 | |
| 其他题名 | Thermal Effect Simulation Analysis on Excimer Laser Annealingof Zinc Oxide Thin Films |
邵景珍1; 王玺2; 胡红涛1; 方晓东1
| |
| 2017 | |
| 发表期刊 | 激光与光电子学进展
 |
| ISSN | 1006-4125 |
| 摘要 | 基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型,模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布,讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系,分析了激光能量密度对薄膜温度场的影响。模拟结果表明,ZnO薄膜的准分子激光退火具有急热骤冷特性,ZnO薄膜表面温度与激光能量密度呈线性增长关系,表面热熔融阈值为261mJ/cm~2。 |
| 关键词 | 激光技术 薄膜 准分子激光退火 有限元分析 热效应 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6022926 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/101914 |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.电子工程学院 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邵景珍,王玺,胡红涛,等. 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析[J]. 激光与光电子学进展,2017,54. |
| APA | 邵景珍,王玺,胡红涛,&方晓东.(2017).氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析.激光与光电子学进展,54. |
| MLA | 邵景珍,et al."氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析".激光与光电子学进展 54(2017). |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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