浅谈KevexSIGMA^TMX射线能谱仪中的能谱分析技术

HFCAS OpenIR > 中科院固体物理研究所

	浅谈KevexSIGMA^TMX射线能谱仪中的能谱分析技术
	孔明光
	2004
发表期刊	现代科学仪器
ISSN	1003-8892
摘要	随着科学技术的发展，能谱分析技术在科研中的作用越来越重要。本文以KevexSIGMA^TMX射线能谱仪为例，论述了能谱的形成和原理，以及定性和定量分析技术，并对能谱技术的发展进行了展望。
合作性质	其它
关键词	X射线能谱扫描电镜定性定量分析
收录类别	其他
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:1734088
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/1176
专题	中科院固体物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	孔明光. 浅谈KevexSIGMA^TMX射线能谱仪中的能谱分析技术[J]. 现代科学仪器,2004,000(1).
APA	孔明光.(2004).浅谈KevexSIGMA^TMX射线能谱仪中的能谱分析技术.现代科学仪器,000(1).
MLA	孔明光."浅谈KevexSIGMA^TMX射线能谱仪中的能谱分析技术".现代科学仪器 000.1(2004).