中科院固体物理研究所知识库

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	Characterization of W\Ta\N hard films synthesized by direct current magnetron sputtering
	J.F. Yang , Z.G. Yuan , X.P. Wang , Q.F. Fang
	2013
发表期刊	Surface & Coatings Technology
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/12228
专题	中科院固体物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	J.F. Yang , Z.G. Yuan , X.P. Wang , Q.F. Fang. Characterization of W\Ta\N hard films synthesized by direct current magnetron sputtering[J]. Surface & Coatings Technology,2013,231:19-23.
APA	J.F. Yang , Z.G. Yuan , X.P. Wang , Q.F. Fang.(2013).Characterization of W\Ta\N hard films synthesized by direct current magnetron sputtering.Surface & Coatings Technology,231,19-23.
MLA	J.F. Yang , Z.G. Yuan , X.P. Wang , Q.F. Fang."Characterization of W\Ta\N hard films synthesized by direct current magnetron sputtering".Surface & Coatings Technology 231(2013):19-23.

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