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制备氮化镓单晶薄膜材料的装置及方法; 制备氮化镓单晶薄膜材料的装置及方法; 制备氮化镓单晶薄膜材料的装置及方法; 制备氮化镓单晶薄膜材料的装置及方法
刘贵锋; 解新建; 王玉琦
2007
专利权人中国科学院合肥研究院
公开日期2009-11-10 ; 2009-11-10
授权国家中国
专利类型发明
学科领域纳米材料与技术
申请日期2006
专利号cn101045997
申请号cn200610039392
PCT属性
文献类型专利
条目标识符http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/1692
专题中科院固体物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘贵锋,解新建,王玉琦. 制备氮化镓单晶薄膜材料的装置及方法, 制备氮化镓单晶薄膜材料的装置及方法, 制备氮化镓单晶薄膜材料的装置及方法, 制备氮化镓单晶薄膜材料的装置及方法. cn101045997[P]. 2007-01-01.
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