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钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法; 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法; 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法; 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法
杨俊峰; 刘庆; 王伟国; 王先平; 王建新; 方前锋
2008
专利权人中国科学院合肥研究院
公开日期2009-11-10 ; 2009-11-10
授权国家中国
专利类型发明
学科领域新型功能材料与固体内耗
申请日期2007
专利号cn101244644
申请号cn200710020151
PCT属性
文献类型专利
条目标识符http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/1768
专题中科院固体物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
杨俊峰,刘庆,王伟国,等. 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法, 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法, 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法, 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法. cn101244644[P]. 2008-01-01.
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