激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究

	激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究
其他题名	Research on Preparation of Silicon Nitride Nano-powders with Laser Indsuced Chemical Vapor Deposition and Optical Characteristics of Powders
	王锐; 李道火; 黄永攀; 罗丽明; 浦坦
	2004
发表期刊	硅酸盐通报
ISSN	1001-1625
摘要	氮化硅是优良的陶瓷材料，应用广泛。本文研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理。提出了减少游离硅的措施，利用双光束激发制备了超微的、非晶纳米氮化硅粉体。实验证明，纳米氮化硅粉体具有一些特殊的物理性能和光谱特性。
合作性质	国内
关键词	激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅光谱特性陶瓷材料 Si3N4 双光束激发
学科领域	激光技术与应用 ; 纳米材料与技术
收录类别	其他
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:1642991
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/2082
专题	中科院安徽光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王锐,李道火,黄永攀,等. 激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究[J]. 硅酸盐通报,2004,023(3).
APA	王锐,李道火,黄永攀,罗丽明,&浦坦.(2004).激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究.硅酸盐通报,023(3).
MLA	王锐,et al."激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究".硅酸盐通报 023.3(2004).

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