Institutional Repository of Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Hefei Institutes of Physical Science, Chinese Academy of Sciences, Hefei, Anhui 230031, China
| Experimental study of 248nm excimer laser etching of alumina | |
| Hongtao Hu1,2; Jingzhen Shao1; Xi Wang1,3; Xiaodong Fang1,2 | |
| 2016 | |
| 会议名称 | Conference on Advanced Laser Manufacturing Technology |
| 会议日期 | 2016 |
| 会议地点 | Beijing, PEOPLES R CHINA |
| 文献类型 | 会议论文 |
| 条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/21518 |
| 专题 | 中科院安徽光学精密机械研究所 |
| 作者单位 | 1.Chinese Acad Sci, Anhui Inst Opt & Fine Mech, Anhui Prov Key Lab Photon Devices & Mat, Hefei 230031, Peoples R China 2.Univ Sci & Technol China, Sch Environm Sci & Optoelect Technol, Hefei 230026, Peoples R China 3.State Key Lab Pulsed Power Laser Technol, Hefei 230037, Peoples R China |
| 第一作者单位 | 中科院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Hongtao Hu,Jingzhen Shao,Xi Wang,et al. Experimental study of 248nm excimer laser etching of alumina[C],2016. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| Experimental study o（628KB） | 会议论文 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | ||
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论