Institutional Repository of Chinese Acad Sci, Inst Intelligent Machines, Hefei 230031, Anhui, Peoples R China
| 一种二维微位移平台测量系统的研究 | |
| 其他题名 | Study of a Measurement System for Two-Dimensional Micro-Displacement |
马静华; 葛运建; 吴仲城 ; 孟明; 沈春山; 申飞; 石振
| |
| 2005 | |
| 发表期刊 | 传感技术学报
 |
| ISSN | 1004-1699 |
| 摘要 | 微位移测量已经广泛应用于精密测量领域中，实现微位移测量最关键的环节在于精确的定位和精细的运动。文章设计了一种基于应变方式进行二维微位移（纳米级）测量的系统，详细阐述了该系统主要组成部分：微位移检测传感器、处理电路及相关系统软件。实验结果表明该系统可以满足二维微（纳米级）测量的要求。 |
| 合作性质 | 其它 |
| 其他摘要 | Micro-displacement measurement has already been applied in the accurate measurement field extensively and the key of it lies in the accurate localization and movement. The design of a measurement system based on strain gauge for two-dimensional micro-displacement is introduced. The components which include micro-displacement measurement sensor, circuits and software are represented. The experiment result shows that it can be utilized to measure two-dimensional micro-displacement on micron or nanometer level. |
| 关键词 | 微位移 应变式 微处理器 |
| 学科领域 | 仿生感知技术 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:2197170 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/2190 |
| 专题 | 中科院合肥智能机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马静华,葛运建,吴仲城,等. 一种二维微位移平台测量系统的研究[J]. 传感技术学报,2005,18(4). |
| APA | 马静华.,葛运建.,吴仲城.,孟明.,沈春山.,...&石振.(2005).一种二维微位移平台测量系统的研究.传感技术学报,18(4). |
| MLA | 马静华,et al."一种二维微位移平台测量系统的研究".传感技术学报 18.4(2005). |
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