Institutional Repository of Chinese Acad Sci, Inst Intelligent Machines, Hefei 230031, Anhui, Peoples R China
| 电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中的应用 | |
孔德义 ; 虞承端; 梅涛
| |
| 2001 | |
| 发表期刊 | 世界电子元器件
 |
| 合作性质 | 其它 |
| 学科领域 | 仿生感知技术 |
| 收录类别 | 其他 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/350 |
| 专题 | 中科院合肥智能机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孔德义,虞承端,梅涛. 电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中的应用[J]. 世界电子元器件,2001(2). |
| APA | 孔德义,虞承端,&梅涛.(2001).电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中的应用.世界电子元器件(2). |
| MLA | 孔德义,et al."电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中的应用".世界电子元器件 .2(2001). |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中（103KB） | 开放获取 | 使用许可 | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [孔德义]的文章 |
| [虞承端]的文章 |
| [梅涛]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [孔德义]的文章 |
| [虞承端]的文章 |
| [梅涛]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [孔德义]的文章 |
| [虞承端]的文章 |
| [梅涛]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论