Knowledge Management System of Hefei Institute of Physical Science，CAS
| 类富勒烯纳米晶CNx薄膜及其场致电子发射特性 | |
| 其他题名 | Fullerene-like nano-crystalline CNx films and its characteristics of field electron emission |
| 张兰1; 马会中1; 李会军1; 杨仕娥1; 姚宁1; 胡欢陵2; 张兵临1 | |
| 2004 | |
| 发表期刊 | 物理学报
 |
| ISSN | 1000-3290 |
| 摘要 | 利用微波等离子体增强化学气相沉积技术制备出了CNx薄膜，并利用x射线光电子能谱、x射线衍射、扫描电子显微镜和Raman光谱等测试手段对所制备的CNx薄膜的微结构和成分进行了分析．研究了其场致电子发射特性．发现薄膜的结构和场发射特性与反应系中的甲烷、氮气及氢气的流量比有关，当甲烷、氢气及氮气流量比为8，50/50sccm时，制备的薄膜具有弯曲层状的纳米石墨晶体结构(类富勒烯结构)和很好的场发射特性．场发射阈值电场降低至1．1V/μm．当电场为5．9V/μm时，平均电流密度达70μA/cm^2，发射点密度大于1×10^4cm^-2． |
| 关键词 | 类富勒烯 微波等离子体增强化学气相沉积技术 碳氮薄膜 薄膜生长 场致电子发射 扫描电子显微镜 Raman光谱 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:1613798 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/46493 |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.郑州大学工程力学系 2.郑州大学工程力学系 3.郑州大学物理工程学院 4.郑州大学物理工程学院 5.郑州大学物理工程学院 6.中国科学院安徽光学精密机械研究所 7.郑州大学物理工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张兰,马会中,李会军,等. 类富勒烯纳米晶CNx薄膜及其场致电子发射特性[J]. 物理学报,2004,053. |
| APA | 张兰.,马会中.,李会军.,杨仕娥.,姚宁.,...&张兵临.(2004).类富勒烯纳米晶CNx薄膜及其场致电子发射特性.物理学报,053. |
| MLA | 张兰,et al."类富勒烯纳米晶CNx薄膜及其场致电子发射特性".物理学报 053(2004). |
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