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高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究 | |
张连翰1; 孙敦陆1; 钱小波2; 杭寅2 | |
2002 | |
发表期刊 | 人工晶体学报 |
ISSN | 1000-985X |
摘要 | 本文以化学机械抛光为手段,以原子力显微镜(AFM)为工具,对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光进行研究。既观察到由传统光学表面超光滑表达过渡的过程,又观察到超光滑表面加工的结果--表面的本征化。显示了超光滑表面抛光对外延衬底表面的重要性。 |
关键词 | 高温超导薄膜 衬底材料 LaAlO3单晶 超光滑表面抛光 研究 铝酸镧单晶 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:1016524 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/50959 |
专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院上海光学精密机械研究所 4.中国科学院上海光学精密机械研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张连翰,孙敦陆,钱小波,等. 高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究[J]. 人工晶体学报,2002,031. |
APA | 张连翰,孙敦陆,钱小波,&杭寅.(2002).高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究.人工晶体学报,031. |
MLA | 张连翰,et al."高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究".人工晶体学报 031(2002). |
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