高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究

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	高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究
	张连翰 1; 孙敦陆1 ; 钱小波 2; 杭寅 2
	2002
发表期刊	人工晶体学报
ISSN	1000-985X
摘要	本文以化学机械抛光为手段，以原子力显微镜（AFM）为工具，对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光进行研究。既观察到由传统光学表面超光滑表达过渡的过程，又观察到超光滑表面加工的结果－－表面的本征化。显示了超光滑表面抛光对外延衬底表面的重要性。
关键词	高温超导薄膜衬底材料 LaAlO3单晶超光滑表面抛光研究铝酸镧单晶
收录类别	CSCD
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:1016524
引用统计
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/50959
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院上海光学精密机械研究所 4.中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张连翰,孙敦陆,钱小波,等. 高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究[J]. 人工晶体学报,2002,031.
APA	张连翰,孙敦陆,钱小波,&杭寅.(2002).高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究.人工晶体学报,031.
MLA	张连翰,et al."高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究".人工晶体学报 031(2002).