Knowledge Management System of Hefei Institute of Physical Science，CAS
| 厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究 | |
| 其他题名 | Study on conductive characteristics of Ru-based resistor for thick-f＇dm piezoresistive sensors |
| 陈建群1; 马以武1; 唐力强1; 王正宏1 | |
| 2006 | |
| 发表期刊 | 传感器与微系统
 |
| ISSN | 1000-9787 |
| 摘要 | 探讨了厚膜压阻式传感器用钌系电阻器的灵敏特性和提高钌酸盐厚膜力敏电阻器灵敏系数S的方法。实验证明：钌酸盐厚膜电阻器的灵敏系数与电阻材料的物化特性、工艺条件密切相关。通过对RuO2脱水温度、合成Bi2Ru2O7固相反应温度和时间控制，并进行导电相与玻璃相粒径大小的有效搭配以及纳米掺杂改性，提高厚膜力敏电阻器的灵敏系数，其值可以达到17左右，达到国际先进水平。 |
| 其他摘要 | The sensitive characteristics of the Ru-based resistor for thick-film piezoresistive sensor is summarized and how to increase the gauge factor is discussed. A close correspondence between the gauge factor and the physical and chemical characteristics is experimented. To control the range of dehydration temperature of RuO2 ,to control the temperature and time in the couse of solid compositive reactivity of Bi2Ru2O7, to attain the effective mixture of multiple paticle sizes of the conductive phase and the glass phase ,and charactertistics with addition can increase the gauge factor of the thick-film resistor. Its value can be about 17 ,which is up to international advance level. |
| 关键词 | 厚膜压阻式传感器 导电性能 掺杂改性 灵敏系数 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:2297261 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/57414 |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院合肥智能机械研究所 2.中国科学院合肥智能机械研究所 3.中国科学院合肥智能机械研究所 4.中国科学院合肥智能机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈建群,马以武,唐力强,等. 厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究[J]. 传感器与微系统,2006,025. |
| APA | 陈建群,马以武,唐力强,&王正宏.(2006).厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究.传感器与微系统,025. |
| MLA | 陈建群,et al."厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究".传感器与微系统 025(2006). |
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