射频激励的铜和金离子激光器中等离子体特性的实验研究

HFCAS OpenIR

	射频激励的铜和金离子激光器中等离子体特性的实验研究
其他题名	Experimental study on RF-discharged plasma characteristics in Au and Cu ion Laser
	2003-01-01
发表期刊	中国激光
ISSN	0258-7025
摘要	通过对射频（RF）放电电压电流以及其相位角的精确测定，结合射频放电的物理模型与等效电路，对金属铜和金电极He气中的射频放电进行实验研究，得出射频放电溅射型铜和金离子等离子体电阻、容抗、鞘层厚度与电流密度的关系；在Goydak模型的基础上计算出电子密度，得出电子密度与气体压强、放电电流密度之间的实验曲线，并对两电极进行了比较。
关键词	等离子体物理学金属离子激光器射频溅射 Goydak模型电子密度
收录类别	CSCD
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:1037452
引用统计
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/60262
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	. 射频激励的铜和金离子激光器中等离子体特性的实验研究[J]. 中国激光,2003,030.
APA	(2003).射频激励的铜和金离子激光器中等离子体特性的实验研究.中国激光,030.
MLA	"射频激励的铜和金离子激光器中等离子体特性的实验研究".中国激光 030(2003).