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离子注入对纳米Si3N4结构的影响 | |
2001-01-01 | |
发表期刊 | 无机材料学报 |
ISSN | 1000-324X |
摘要 | 通过FT-IR、XPS格荧光光谱研究了离子注入对纳米Si3N4结构的影响,发现离子注入改变了材料中游离硅(a-Si)的结构,使其变成了SiNn(n-1,2),荧光谱研究表明纳米Si3N4具有明显的量子限制效应,并且荧光峰的位置和强度存在不稳定性,根据实验结果给出了纳米Si3N4的能级结构图。 |
关键词 | 量子限制效应 离子注入 纳米氮化硅 结构 荧光谱 光学性质 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:779645 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/60845 |
专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | . 离子注入对纳米Si3N4结构的影响[J]. 无机材料学报,2001,016. |
APA | (2001).离子注入对纳米Si3N4结构的影响.无机材料学报,016. |
MLA | "离子注入对纳米Si3N4结构的影响".无机材料学报 016(2001). |
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