HFCAS OpenIR
离子注入对纳米Si3N4结构的影响
2001-01-01
发表期刊无机材料学报
ISSN1000-324X
摘要通过FT-IR、XPS格荧光光谱研究了离子注入对纳米Si3N4结构的影响,发现离子注入改变了材料中游离硅(a-Si)的结构,使其变成了SiNn(n-1,2),荧光谱研究表明纳米Si3N4具有明显的量子限制效应,并且荧光峰的位置和强度存在不稳定性,根据实验结果给出了纳米Si3N4的能级结构图。
关键词量子限制效应 离子注入 纳米氮化硅 结构 荧光谱 光学性质
收录类别CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:779645
引用统计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/60845
专题中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
. 离子注入对纳米Si3N4结构的影响[J]. 无机材料学报,2001,016.
APA (2001).离子注入对纳米Si3N4结构的影响.无机材料学报,016.
MLA "离子注入对纳米Si3N4结构的影响".无机材料学报 016(2001).
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