激光诱导化学气相沉积法制备纳米a—Si3N4粉体及粉体光谱特性的研究

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	激光诱导化学气相沉积法制备纳米a—Si3N4粉体及粉体光谱特性的研究
其他题名	Research on Preparation of Silicon Nitride Nano -powders with Laser Induced Chemical Vapor Deposition and Optical Characteristics of Powders
	2004-01-01
发表期刊	应用激光
ISSN	1000-372X
摘要	为了制备高纯度的非晶纳米粉体，在传统的激光诱导化学气相沉积法反应装置的基础上，引入“双光束激励”的新方法，利用正交紫外光束激励分解，从而提高气相中N／Si比，减少产物中游离硅的浓度。研究了粒子的红外吸收光谱特性，并指出表面效应和量子尺寸效应导致粉体红外吸收光谱的蓝移和宽化现象，同时红外吸收光谱中的这些反常现象也验证了粉体的纳米特性。
关键词	粉体游离硅制备 Si3N4 纳米高纯度反应装置化学气相沉积法红外吸收光谱激光诱导
收录类别	CSCD
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:1869593
引用统计
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/61311
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	. 激光诱导化学气相沉积法制备纳米a—Si3N4粉体及粉体光谱特性的研究[J]. 应用激光,2004,024.
APA	(2004).激光诱导化学气相沉积法制备纳米a—Si3N4粉体及粉体光谱特性的研究.应用激光,024.
MLA	"激光诱导化学气相沉积法制备纳米a—Si3N4粉体及粉体光谱特性的研究".应用激光 024(2004).