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激光诱导化学气相沉积法制备纳米a—Si3N4粉体及粉体光谱特性的研究 | |
其他题名 | Research on Preparation of Silicon Nitride Nano -powders with Laser Induced Chemical Vapor Deposition and Optical Characteristics of Powders |
2004-01-01 | |
发表期刊 | 应用激光 |
ISSN | 1000-372X |
摘要 | 为了制备高纯度的非晶纳米粉体,在传统的激光诱导化学气相沉积法反应装置的基础上,引入“双光束激励”的新方法,利用正交紫外光束激励分解,从而提高气相中N/Si比,减少产物中游离硅的浓度。研究了粒子的红外吸收光谱特性,并指出表面效应和量子尺寸效应导致粉体红外吸收光谱的蓝移和宽化现象,同时红外吸收光谱中的这些反常现象也验证了粉体的纳米特性。 |
关键词 | 粉体 游离硅 制备 Si3N4 纳米 高纯度 反应装置 化学气相沉积法 红外吸收光谱 激光诱导 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:1869593 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/61311 |
专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | . 激光诱导化学气相沉积法制备纳米a—Si3N4粉体及粉体光谱特性的研究[J]. 应用激光,2004,024. |
APA | (2004).激光诱导化学气相沉积法制备纳米a—Si3N4粉体及粉体光谱特性的研究.应用激光,024. |
MLA | "激光诱导化学气相沉积法制备纳米a—Si3N4粉体及粉体光谱特性的研究".应用激光 024(2004). |
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