HFCAS OpenIR  > 中科院安徽光学精密机械研究所
能量过滤磁控溅射技术制备ITO 薄膜及其特性研究
姚宁; 常立红; 韩昌报; 邢宏伟; 葛亚爽; 崔娜娜; 王英俭; 张兵临
2011
发表期刊真空科学与技术学报
学科领域光学材料研究
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/6236
专题中科院安徽光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
姚宁,常立红,韩昌报,等. 能量过滤磁控溅射技术制备ITO 薄膜及其特性研究[J]. 真空科学与技术学报,2011,31(3).
APA 姚宁.,常立红.,韩昌报.,邢宏伟.,葛亚爽.,...&张兵临.(2011).能量过滤磁控溅射技术制备ITO 薄膜及其特性研究.真空科学与技术学报,31(3).
MLA 姚宁,et al."能量过滤磁控溅射技术制备ITO 薄膜及其特性研究".真空科学与技术学报 31.3(2011).
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