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激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体 | |
其他题名 | Preparation of Silicon Nitride Nano-powders with Laser Induced HMDS |
2005-01-01 | |
发表期刊 | 光电子技术与信息 |
ISSN | 1006-1231 |
摘要 | 针对激光气相合成氮化硅纳米粉体的性能与成本的矛盾,在对激光合成反应物的研究与分析的基础上,选择廉价、无氯硫、对CO2激光有强吸收、易于处理的有机硅烷反应物六甲基乙硅胺烷(HMDS)作为价格昂贵、难以处理的硅烷(SiH4)的替代反应物,进行了激光合成氮化硅纳米粉体的研究。 |
关键词 | 激光诱导化学气相合成 六甲基乙硅胺烷 氮化硅纳米粉体 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:1981436 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/66367 |
专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | . 激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体[J]. 光电子技术与信息,2005,018. |
APA | (2005).激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体.光电子技术与信息,018. |
MLA | "激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体".光电子技术与信息 018(2005). |
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