激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体

HFCAS OpenIR

	激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体
其他题名	Preparation of Silicon Nitride Nano-powders with Laser Induced HMDS
	2005
发表期刊	光电子技术与信息
ISSN	1006-1231
摘要	针对激光气相合成氮化硅纳米粉体的性能与成本的矛盾，在对激光合成反应物的研究与分析的基础上，选择廉价、无氯硫、对CO2激光有强吸收、易于处理的有机硅烷反应物六甲基乙硅胺烷(HMDS)作为价格昂贵、难以处理的硅烷(SiH4)的替代反应物，进行了激光合成氮化硅纳米粉体的研究。
关键词	激光诱导化学气相合成六甲基乙硅胺烷氮化硅纳米粉体
收录类别	CSCD
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:1981436
引用统计
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/66367
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	. 激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体[J]. 光电子技术与信息,2005,018.
APA	(2005).激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体.光电子技术与信息,018.
MLA	"激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体".光电子技术与信息 018(2005).