新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究

HFCAS OpenIR

	新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究
其他题名	Research on pressure sensitive component of novel thick film ceramic capacitive pressure sensor
	2006-01-01
发表期刊	传感器与微系统
ISSN	1000-9787
摘要	采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器，重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。试验结果表明：研制的感压元件性能良好，非线性误差低于1．0％，迟滞误差小于0．5％，测试电容和参考电容温度系数近乎一致。
其他摘要	Novel ceramic capacitive pressure sensors （CCPS） are researched by the thick film sensitive technology. The preparation technique and hybrid integration of the pressure sensitive component are emphasized. The basic principle, fabric design, manufacturing technique and performance test of dual-capacity pressure sensitive component are described in detail. Experimental results indicate that the component has excellent performance, the non-linearity error and hysteresis error are within 1.0 % and 0. 5 % respectively, especially, both temperature coefficient of capacity （TCC） are identical.
关键词	厚膜电容式压力传感器感压元件
收录类别	CSCD
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:2466703
引用统计	被引频次：5[CSCD] [CSCD记录]
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/69516
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	. 新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究[J]. 传感器与微系统,2006,025.
APA	(2006).新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究.传感器与微系统,025.
MLA	"新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究".传感器与微系统 025(2006).