Knowledge Management System of Hefei Institute of Physical Science，CAS
| 双向横向热执行器结构设计 | |
| 其他题名 | Design of a Bi-directional Lateral Thermal Actuator |
| 2007-01-01 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| ISSN | 1003-8213 |
| 摘要 | 在传统非对称冷热梁结构横向热执行器的基础上,提出了一种能实现双向横向运动的热执行器.采用对称结构设计,主要由折叠柔性梁、直柔性梁、宽梁和连接梁构成,通过选择加热臂,可以控制结构的偏转方向,实现双向推挽运动.在典型尺寸下,仿真结果显示,在20 mW驱动作用下,产生的末端位移9.55 μm,驱动力9.4μN,其性能与单向横向执行器相当.同时还进行了结构优化分析. |
| 关键词 | 横向热执行器 微机电系统 有限元 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3190089 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/69815 |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | . 双向横向热执行器结构设计[J]. 微细加工技术,2007,000. |
| APA | (2007).双向横向热执行器结构设计.微细加工技术,000. |
| MLA | "双向横向热执行器结构设计".微细加工技术 000(2007). |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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