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| 准分子激光技术发展（邀请论文） | |
| 其他题名 | Progress of Excimer Lasers Technology（Invited Paper） |
余吟山1; 游利兵1 ; 梁勖1; 方晓东1
| |
| 2010 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| ISSN | 0258-7025 |
| 摘要 | 介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展历史。着重阐述了放电激励准分子器件的相关技术,如大能量与大功率技术、高重复频率技术、光束控制技术和激光电源技术等。分析了准分子激光光刻应用及近期技术发展,介绍了准分子激光在工业、医疗和生产领域的应用。 |
| 其他摘要 | The fundamental characteristics of excimer are introduced briefly and the historical development of excimer lasers is reviewed.The progress of excimer technology especially for discharge pumped excimer lasers is presented detailedly.The key technologies recently employed to improve the performance of excimer lasers for lithography are analyzed.The applications of discharge pumped excimer lasers in industry,medicine and scientific research are also discussed. |
| 关键词 | 激光器 准分子激光技术 放电激励 光刻 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4021012 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/93889 |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 余吟山,游利兵,梁勖,等. 准分子激光技术发展（邀请论文）[J]. 中国激光,2010,000. |
| APA | 余吟山,游利兵,梁勖,&方晓东.(2010).准分子激光技术发展（邀请论文）.中国激光,000. |
| MLA | 余吟山,et al."准分子激光技术发展（邀请论文）".中国激光 000(2010). |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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