Knowledge Management System of Hefei Institute of Physical Science，CAS
| 0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性 | |
| 其他题名 | Characteristics of KrF excimer laser with an output energy of 0.73 J |
赵家敏1; 游利兵1 ; 余吟山1; 方晓东1
| |
| 2013 | |
| 发表期刊 | 强激光与粒子束
 |
| ISSN | 1001-4322 |
| 摘要 | 研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40 kV、脉冲上升时间约为100 ns的高压快脉冲激励.研究了工作气体含量对激光器能量输出的影响,在总气压3.3×105 Pa,F2/He,Kr,Ne体积分数比值为1.97∶3.18∶94.85,充电电压27 kV时,得到了738mJ的单脉冲能量输出,激光近场光斑30 mm×14 mm,在充电电压23 kV时,全电效率最高,达到2.0％. |
| 其他摘要 | The KrF excimer laser was studied. The large area uniform glow discharge was realized by using compact Chang electrode combined with ultraviolet spark pre-ionization, and to provide high voltage discharge with high rising edge, the laser de scribed here used LC inversion and one-stage magnetic switch in excitation circuit. The influence of the laser pulse energy by the work gas content was studied, and in volume ratio of F2/ He = Kr ： Ne 1.97 ： 3.18 ： 94.85 gas mixture at the total gas pressure of 330 kPa, the cross section of theoutput beam was 30 minX14 mmat 27 kV charging voltage. A maximum output energy of 738 mJ was obtained. And the maximal overall efficiency was up to 2.0% with the charging voltage up to 23 kV. |
| 关键词 | 准分子激光器 激光退火 大能量 磁脉冲压缩 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4992943 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/94370 |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵家敏,游利兵,余吟山,等. 0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性[J]. 强激光与粒子束,2013,025. |
| APA | 赵家敏,游利兵,余吟山,&方晓东.(2013).0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性.强激光与粒子束,025. |
| MLA | 赵家敏,et al."0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性".强激光与粒子束 025(2013). |
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