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一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验研究 | |
其他题名 | The Design And Fabrication of A Type Of Ceramic Capacity Pressure Sensor |
张宾1; 唐力强1; 梅涛1; 马以武2 | |
2005 | |
发表期刊 | 传感器世界 |
ISSN | 1006-883X |
摘要 | 陶瓷电容式压力传感器具有抗腐蚀、耐高温、高精度、高稳定性、无污染和抗过载等优点,在工业中将有广泛用途。但是,其芯片目前国内尚无厂家可以生产。应客户要求,我们对陶瓷电容式压力传感器进行了设计、建模、制作和实验,并使之满足批量生产的需要。 |
关键词 | 陶瓷 电容 压力 传感器 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:1932539 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/98548 |
专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
作者单位 | 1.中科院合肥智能机械研究所 2.中科院合肥智能机械研究所 3.中科院合肥智能机械研究所 4.中国科学院合肥智能机械研究所 |
第一作者单位 | 中科院合肥智能机械研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张宾,唐力强,梅涛,等. 一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验研究[J]. 传感器世界,2005,011. |
APA | 张宾,唐力强,梅涛,&马以武.(2005).一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验研究.传感器世界,011. |
MLA | 张宾,et al."一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验研究".传感器世界 011(2005). |
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