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一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验研究
其他题名The Design And Fabrication of A Type Of Ceramic Capacity Pressure Sensor
张宾1; 唐力强1; 梅涛1; 马以武2
2005
发表期刊传感器世界
ISSN1006-883X
摘要陶瓷电容式压力传感器具有抗腐蚀、耐高温、高精度、高稳定性、无污染和抗过载等优点,在工业中将有广泛用途。但是,其芯片目前国内尚无厂家可以生产。应客户要求,我们对陶瓷电容式压力传感器进行了设计、建模、制作和实验,并使之满足批量生产的需要。
关键词陶瓷 电容 压力 传感器
收录类别CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:1932539
引用统计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/98548
专题中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位1.中科院合肥智能机械研究所
2.中科院合肥智能机械研究所
3.中科院合肥智能机械研究所
4.中国科学院合肥智能机械研究所
第一作者单位中科院合肥智能机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张宾,唐力强,梅涛,等. 一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验研究[J]. 传感器世界,2005,011.
APA 张宾,唐力强,梅涛,&马以武.(2005).一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验研究.传感器世界,011.
MLA 张宾,et al."一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验研究".传感器世界 011(2005).
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