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准分子激光微加工应用研究进展 期刊论文
量子电子学报, 2018, 卷号: 035
作者:  何立文;  方晓东
收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2020/11/25
激光技术  准分子激光微加工  集成芯片3D封装  微机电系统材料微加工  
用于FBG刻写的小型准分子激光器实验研究 期刊论文
量子电子学报, 2018, 卷号: 035
作者:  张威;  方晓东;  梁勖
收藏  |  浏览/下载：92/0  |  提交时间：2020/11/25
激光技术  准分子激光  光纤布拉格光栅  相位掩模  小型化