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全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用 期刊论文
强激光与粒子束, 2019, 卷号: 031
作者:  游利兵;  程超;  方晓东
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全固态高压脉冲电源  半导体光刻  准分子激光  磁开关  闸流管  
准分子激光辐照K9玻璃的热力效应分析 期刊论文
强激光与粒子束, 2016, 卷号: 028
作者:  王玺;  方晓东
收藏  |  浏览/下载:45/0  |  提交时间:2020/11/23
激光损伤  数值分析  KrF准分子激光  K9玻璃  
kHz准分子激光器全固态脉冲激励源 期刊论文
强激光与粒子束, 2013, 卷号: 004
作者:  王庆胜;  游利兵;  余吟山;  赵家敏;  方晓东
收藏  |  浏览/下载:31/0  |  提交时间:2020/10/26
准分子激光器  全固态脉冲功率模块  磁开关  磁脉冲压缩