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| 全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用 期刊论文 强激光与粒子束, 2019, 卷号: 031 作者: 游利兵 ; 程超; 方晓东![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:46/0  |  提交时间:2020/11/23 全固态高压脉冲电源 半导体光刻 准分子激光 磁开关 闸流管 |
| kHz准分子激光器全固态脉冲激励源 期刊论文 强激光与粒子束, 2013, 卷号: 004 作者: 王庆胜 ; 游利兵 ; 余吟山; 赵家敏; 方晓东![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:31/0  |  提交时间:2020/10/26 准分子激光器 全固态脉冲功率模块 磁开关 磁脉冲压缩 |
| 高重复频率ArF 准分子激光器能量控制算法研究 期刊论文 激光技术, 2012, 卷号: 36, 期号: 6 作者: 王效顺; 梁勖 ; 游利兵 ; 赵家敏; 方晓东![](/image/person.jpg)
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| 高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究 期刊论文 激光技术, 2012, 卷号: 036 作者: 王效顺; 梁勖 ; 游利兵 ; 赵家敏; 方晓东![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:51/0  |  提交时间:2020/11/25 激光器 能量稳定 比例积分算法 高重复频率 ArF准分子激光器 |
| 准分子激光技术发展 期刊论文 中国激光, 2010, 卷号: 37, 期号: 9 作者: 余吟山; 游利兵 ; 梁勖 ; 方晓东![](/image/person.jpg)
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| 准分子激光技术发展(邀请论文) 期刊论文 中国激光, 2010, 卷号: 000 作者: 余吟山; 游利兵 ; 梁勖 ; 方晓东![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:44/0  |  提交时间:2020/11/23 激光器 准分子激光技术 放电激励 光刻 |