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全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用 期刊论文
强激光与粒子束, 2019, 卷号: 031
作者:  游利兵;  程超;  方晓东
收藏  |  浏览/下载:46/0  |  提交时间:2020/11/23
全固态高压脉冲电源  半导体光刻  准分子激光  磁开关  闸流管  
基于可控LC串联谐振的高重频高精度脉冲充电电源 期刊论文
高电压技术, 2018, 卷号: 044
作者:  梁勖;  赵读亮;  林颖;  方晓东
收藏  |  浏览/下载:40/0  |  提交时间:2020/11/25
脉冲电源  串联谐振  准分子激光  高重频  高精度  
准分子激光辐照K9玻璃的热力效应分析 期刊论文
强激光与粒子束, 2016, 卷号: 028
作者:  王玺;  方晓东
收藏  |  浏览/下载:45/0  |  提交时间:2020/11/23
激光损伤  数值分析  KrF准分子激光  K9玻璃  
kHz准分子激光器全固态脉冲激励源 期刊论文
强激光与粒子束, 2013, 卷号: 004
作者:  王庆胜;  游利兵;  余吟山;  赵家敏;  方晓东
收藏  |  浏览/下载:31/0  |  提交时间:2020/10/26
准分子激光器  全固态脉冲功率模块  磁开关  磁脉冲压缩  
高重复频率ArF 准分子激光器能量控制算法研究 期刊论文
激光技术, 2012, 卷号: 36, 期号: 6
作者:  王效顺;  梁勖;  游利兵;  赵家敏;  方晓东
Adobe PDF(635Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:341/177  |  提交时间:2013/01/14
高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究 期刊论文
激光技术, 2012, 卷号: 036
作者:  王效顺;  梁勖;  游利兵;  赵家敏;  方晓东
收藏  |  浏览/下载:51/0  |  提交时间:2020/11/25
激光器  能量稳定  比例积分算法  高重复频率  ArF准分子激光器  
准分子激光技术发展 期刊论文
中国激光, 2010, 卷号: 37, 期号: 9
作者:  余吟山;  游利兵;  梁勖;  方晓东
Adobe PDF(1661Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:756/479  |  提交时间:2011/12/07
准分子激光技术发展(邀请论文) 期刊论文
中国激光, 2010, 卷号: 000
作者:  余吟山;  游利兵;  梁勖;  方晓东
收藏  |  浏览/下载:44/0  |  提交时间:2020/11/23
激光器  准分子激光技术  放电激励  光刻