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高重频ArF准分子激光器脉冲能量控制系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: 102790348A, 申请日期: 2012-01-01, 公开日期: 2013-01-18
发明人:  王效顺;  方晓东;  梁勖;  游利兵;  尹洪虎;  刘毅;  王庆胜;  赵家敏
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高重复频率ArF 准分子激光器能量控制算法研究 期刊论文
激光技术, 2012, 卷号: 36, 期号: 6
作者:  王效顺;  梁勖;  游利兵;  赵家敏;  方晓东
Adobe PDF(635Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/177  |  提交时间：2013/01/14
高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究 期刊论文
激光技术, 2012, 卷号: 036
作者:  王效顺;  梁勖;  游利兵;  赵家敏;  方晓东
收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2020/11/25
激光器  能量稳定  比例积分算法  高重复频率  ArF准分子激光器  
准分子激光技术发展 期刊论文
中国激光, 2010, 卷号: 37, 期号: 9
作者:  余吟山;  游利兵;  梁勖;  方晓东
Adobe PDF(1661Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：756/479  |  提交时间：2011/12/07