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硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真 期刊论文
仪表技术与传感器, 2017, 卷号: 000
作者:  平文;  孔德义;  单建华
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2020/10/26
谐振式压力传感器  敏感结构  谐振梁  硅膜  模态仿真  灵敏度