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中国科学院合肥物质科学研究院机构知识库
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研究单元&专题
中科院等离子体物理研... [1]
作者
姚达毛 [1]
发表日期
1999 [1]
语种
出处
真空科学与技术 [1]
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其他 [1]
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出处：真空科学与技术
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小体积大抽速多蒸发源钛升华泵
期刊论文
真空科学与技术, 1999, 期号: 增10
作者:
姚达毛
;
Lollo.V
;
何云
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提交时间：2009/12/15
