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Multi-Dimensional MEMS/Micro Sensor for Force and Moment Sensing: A Review 期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2014, 卷号: 14, 期号: 8, 页码: 2643-2657
作者:  Qiaokang Liang;  Dan Zhang;  Gianmarc Coppola;  Yaonan Wang;  Sun Wei;  Yunjian Ge
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Multi-dimensional  Force Measurement  Micro Sensor  Moment Measurement