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能量过滤磁控溅射技术制备ITO薄膜及其特性研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2011, 卷号: 031
作者:  姚宁;  常立红;  韩昌报;  邢宏伟;  葛亚爽;  崔娜娜;  王英俭;  张兵临
收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2020/11/23
ITO薄膜  光电性能  表面粗糙度  磁控溅射  能量过滤磁控溅射