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感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究 期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 057
作者:  刘峰;  孟月东;  任兆杏;  舒兴胜
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2020/10/26
感应耦合等离子体  磁控溅射  ZrN薄膜  微结构  性能