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金刚石薄膜负偏压形核的边缘效应 期刊论文
高压物理学报, 2003, 卷号: 017
作者:  王传新;  王建华;  马志斌;  满卫东;  王升高;  康志成
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金刚石薄膜  负偏压形核  边缘效应  微波等离子体化学气相沉积  甲烷浓度  偏压大小  异质外延