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| 准分子激光线形光束晶化非晶硅薄膜 期刊论文
量子电子学报, 2019, 卷号: 036
作者: 尹广玥; 游利兵 ; 陈星; 邵景珍; 陈亮; 王庆胜; 方晓东
  收藏 | 浏览/下载：51/0 | 提交时间：2020/11/25
薄膜 多晶硅 准分子激光退火 能量密度 搭接率 线形光束 |
| 高重复率 ArF准分子激光器的关键技术研究 学位论文
, 合肥: 中国科学技术大学, 2017
作者: 朱能伟
Adobe PDF(4542Kb) | 收藏 | 浏览/下载：46/0 | 提交时间：2018/01/17 |
| GaN外延膜的准分子激光辐照热的准分子效应及欧姆接触特性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者: 胡红涛
Adobe PDF(3426Kb) | 收藏 | 浏览/下载：43/2 | 提交时间：2018/01/17 |
| 用于低温多晶硅制备的线光束整形系统 期刊论文
中国激光, 2017, 卷号: 44
作者: 尹广玥; 游利兵; 王庆胜; 褚状状; 陈亮; 方晓东
收藏 | 浏览/下载：60/0 | 提交时间：2020/11/23
激光技术 线光束整形 光束均匀性 准分子激光退火 低温多晶硅制备 |
| 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 卷号: 54
作者: 邵景珍; 王玺; 胡红涛; 方晓东
收藏 | 浏览/下载：38/0 | 提交时间：2020/11/25
激光技术 薄膜 准分子激光退火 有限元分析 热效应 |
| 用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统 期刊论文
激光技术, 2016, 卷号: 040
作者: 尹广玥; 游利兵; 方晓东
收藏 | 浏览/下载：52/0 | 提交时间：2020/11/25
激光技术 平板显示 准分子激光退火 低温多晶硅 光束整形 匀光 |
| 非晶硅薄膜的准分子激光晶化研究 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 卷号: 044
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收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2020/10/26
准分子激光退火 非晶硅薄膜 多晶硅 能量密度 脉冲次数 |
| 高效率放电抽运KrF 准分子激光器 期刊论文
中 国 激 光, 2011, 卷号: 38, 期号: 1
作者: 王效顺; 余吟山; 王庆胜; 梁 勖; 游利兵; 方晓东
 Adobe PDF(594Kb) | 收藏 | 浏览/下载：372/176 | 提交时间：2012/07/09 |
| 准分子激光技术发展 期刊论文
中国激光, 2010, 卷号: 37, 期号: 9
作者: 余吟山; 游利兵; 梁勖; 方晓东
Adobe PDF(1661Kb) | 收藏 | 浏览/下载：756/479 | 提交时间：2011/12/07 |
