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全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用 期刊论文
强激光与粒子束, 2019, 卷号: 031
作者:  游利兵;  程超;  方晓东
收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2020/11/23
全固态高压脉冲电源  半导体光刻  准分子激光  磁开关  闸流管  
高重复率 ArF准分子激光器的关键技术研究 学位论文
, 合肥: 中国科学技术大学, 2017
作者:  朱能伟
Adobe PDF(4542Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2018/01/17
工业及医用准分子激光系统关键技术研究 学位论文
, 合肥: 中国科学技术大学, 2017
作者:  赵读亮
Adobe PDF(6068Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：47/2  |  提交时间：2018/01/17
准分子激光控制和保护电路设计与研究 学位论文
, 合肥: 中国科学技术大学, 2017
作者:  李文洁
Adobe PDF(2228Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：44/5  |  提交时间：2018/01/17
准分子激光技术发展 期刊论文
中国激光, 2010, 卷号: 37, 期号: 9
作者:  余吟山;  游利兵;  梁勖;  方晓东
Adobe PDF(1661Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：756/479  |  提交时间：2011/12/07