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大功率RF离子源静电探针研制及等离子体特性分析 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者:  李京勇
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Atomic-Oxygen Beam Source with Compact ECR Plasma 期刊论文
等离子体科学和技术:英文版, 2002, 卷号: 004
作者:  Ren Zhaoxing;  Shen Keming;  Lu Qingao
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原子氧  等离子体源  等离子体束  ECR  电子回旋加速器  产生  稳定性  
小体积大抽速多蒸发源钛升华泵 期刊论文
真空科学与技术, 1999, 期号: 增10
作者:  姚达毛;  Lollo.V;  何云
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