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等离子体离子能量自动分析器的研制和应用 期刊论文
电子学报, 2003, 卷号: 031
作者:  吴先球;  陈俊芳;  蒋珍美;  熊予莹;  吴开华;  任兆杏
收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2020/10/26
离子能量分布  器件损伤  自动能量分析器  ECR－PECVD