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中国科学院合肥物质科学研究院机构知识库
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高气压直流辉光CH4/H2等离子体放电过程中的占空比效应
期刊论文
真空科学与技术学报, 2019, 卷号: 039
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提交时间：2020/10/26
高气压直流等离子体
占空比
波形
发射光谱
