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感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究 期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 057
作者:  刘峰;  孟月东;  任兆杏;  舒兴胜
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感应耦合等离子体  磁控溅射  ZrN薄膜  微结构  性能  
感应耦合等离子体增强射频磁控溅射特性及其对沉积ZrN 薄膜影响的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2007
作者:  刘峰
Adobe PDF(2316Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：101/17  |  提交时间：2010/04/01
电感耦合等离子体（ICP）辅助射频磁控溅射沉积ZrN薄膜的结构和性能研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2007, 期号: 6
作者:  刘峰;  孟月东;  任兆杏;  沈克明;  舒兴胜
Adobe PDF(264Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：352/142  |  提交时间：2009/11/09
感应耦合等离子体增强射频磁控溅射特性及其对沉积 ZrN 薄膜影响的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2007
作者:  刘峰
Adobe PDF(2315Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：14/1  |  提交时间：2013/09/11