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中国科学院合肥物质科学研究院机构知识库
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研究单元&专题
中科院合肥智能机械研... [1]
作者
孔德义 [1]
梅涛 [1]
发表日期
2001 [1]
语种
出处
世界电子元器件 [1]
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其他 [1]
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文献类型
期刊论文 [1]
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电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中的应用
期刊论文
世界电子元器件, 2001, 期号: 2
作者:
孔德义
;
虞承端
;
梅涛
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提交时间：2009/10/19
