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双向横向热执行器结构设计 期刊论文
微细加工技术, 2007, 卷号: 000
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收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2020/10/26
横向热执行器  微机电系统  有限元  
硅微机械二维倾角传感器结构设计 期刊论文
微细加工技术, 2007, 卷号: 000
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收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2020/10/26
倾角传感器  压敏电阻  微机械  有限元  
痕量爆炸物爆燃探测敏感元件的结构设计 期刊论文
微细加工技术, 2007, 卷号: 000
作者:  诸建彬;  齐永光;  孔德义;  汪小华
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2020/10/26
痕量爆炸物  爆燃  硅梁