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磁控溅射MoSiCN硬质薄膜的制备与性能 期刊论文
中国表面工程, 2010, 卷号: 023
作者:  吕鹏辉;  倪浩明;  崔平;  陈建敏;  方前锋
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纳米复合  纳米晶MoN/非晶SiCNx  MoSiCN薄膜  抗氧化性  摩擦因数  
双潘宁离子源等离子体发生器电源系统 期刊论文
核电子学与探测技术, 2010, 卷号: 30, 期号: 7
作者:  蒋才超;  刘智民;  刘胜;  宋士花;  浩明;  胡纯栋
Adobe PDF(982Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/98  |  提交时间：2011/09/01
等离子体发生器电源  双潘宁离子源  中性束注入器