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基片温度对纳米金刚石薄膜制备的影响 期刊论文
武汉工程大学学报, 2012, 期号: 4, 页码: 39-42+46
作者:  江川;  汪建华;  熊礼威;  翁俊;  苏含;  刘鹏飞
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微波等离子体  化学气相沉积  纳米金刚石薄膜  沉积温度  
应用于半导体器件的掺杂纳米金刚石膜 期刊论文
武汉工程大学学报, 2011, 期号: 10, 页码: 68-72
作者:  苏含;  汪建华;  熊礼威;  刘鹏飞;  江川
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纳米金刚石膜  半导体器件  掺杂