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一种基于陶瓷厚膜技术的六维力传感器 专利
专利类型: 发明, 专利号: cn1289917, 申请日期: 2001-01-01, 公开日期: 2009-10-15, 2009-10-15, 2009-10-15
发明人:  戈瑜;  葛运建;  吴仲城;  马军;  虞承端
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一种厚膜三轴向传感器 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: cn2420615, 申请日期: 2001-01-01, 公开日期: 2009-10-15, 2009-10-15
发明人:  戈瑜;  倪礼宾;  马军;  王英先;  申飞;  虞承端;  吴仲诚
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电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中的应用 期刊论文
世界电子元器件, 2001, 期号: 2
作者:  孔德义;  虞承端;  梅涛
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厚膜压阻式三轴向加速度传感器 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: cn2404125, 申请日期: 2000-01-01, 公开日期: 2009-10-30
发明人:  戈瑜;  倪礼宾;  马军;  王英先;  申飞;  虞承端;  吴仲诚
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